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TESC7081 客戶定制高壓電源

TESC7081

泰思曼 TESC7081 系列靜電卡盤專用高壓電源，是一款專為驅動靜電吸盤裝置設計的高性能電源產品，2 路獨立輸出設計，每一路可輸出±5kV，正負極性切換小于 20ms。該產品不僅隨附詳細的使用說明文檔，更在實際應用中表現出卓越的能效水平。根據客戶反饋，搭載該電源系統后生產效率顯著提升，甚至達到其他同類系統的三倍以上。此外，TESC7081 系列還成功應對了晶圓粘連與爆裂等行業常見難題，從而大幅提升了對顆粒污染的控制能力。憑借其出色的多功能性與穩定性能，TESC7081系列可廣泛應用于多種特殊工藝場景，滿足不同客戶的高標準需求。

典型應用：靜電卡盤；E-Chuck；靜電吸盤；靜電驅動材料處理；半導體晶圓加工；非機械傳輸平板或其他對機械剪切敏感的加工材料

產品資料 返回列表

產品特點

  • 庫侖型
  • 可自定義夾緊/松開順序和波形，配置文件可通過軟件界面上傳并存儲；
  • 前面板控制可鎖定，防止誤操作；
  • 支持過電流、晶圓狀態、夾緊閾值、電壓控制等參數調節；
  • 支持幅度/偏移在線調整和多樣化輸出控制；
  • 輸出可通過 RS485 通信或前面板操作；

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地址：大連市高新園區任賢街16號
電話：0411-84754522
郵箱：sales@teslamanhv.com
網址：m.fs-zh.cn
泰思曼科技公眾號二維碼

產品規格

輸入

+24VDC±5%，6A。

通道數

2 路，每路獨立可調。

調節范圍

每路-5kV~+5kV 連續可調。

輸出電流

6.5mA

電壓精度

額定值±1%。

紋波

0.1%p-p

過零特性

支持。

過沖（超調/失調）

典型<2V（10nf 負載時，從-5kV 到+5kV）。

輸入到輸出延時

優于 3ms。

轉換（升/降）速率

典型 20ms（10nf 負載時，從-5kV 到+5kV）。

循環頻率

典型 50Hz（10nf 負載時，從-5kV 到+5kV）。

輸出阻抗

＞20kΩ（單路）。

電壓顯示

分辨率= 1V。精度優于±50V。

電流顯示

分辨率=10μA。精度=實際輸出±100μA 偏移的±2%。

穩定度

開機 0.5 小時后每 8 小時小于 0.01%。

輸入調整率

在任何負載條件下，10%輸入電壓變化<0.1%。

負載調整率

從零到滿負載<1.3%。

保護

輸入過/欠壓、過流保護，輸出過壓、過流、過溫。

前面板控制

液晶顯示屏，電壓調節、電流設定、一鍵 d-chuck 等。

通信

通過 DB25 模擬量控制，也可選擇 RS-485 串行接口（其他接口可定制）。

控制信號

0 對應-5kV，5V 對應 0kV，10V 對應+5kV（其他形式可定制）。

典型負載電容

<10nF(對于其他負載電容，請聯系泰思曼)。

在位電容檢測范圍

100nF 以內。

溫度系數

電壓和電流優于 300ppm/℃。滿載時<0.1%p-p，最大輸出。

環境溫度

工作時

0?C 至 45?C；

儲存時

-20?C 至 70?C。

濕度

0 至 85%RH，非冷凝。

冷卻

自然冷卻。

外形尺寸

寬 241 mm ，高 88 mm ，深 411mm。