技術資源

靜電卡盤高壓電源表面微放電檢測的技術原理與應用價值

在半導體先進制程制造中，靜電卡盤（ESC）作為晶圓精準夾持與溫度控制的核心組件，其性能穩定性直接決定晶圓加工良率。靜電卡盤的夾持力依

電鏡高壓電源的皮安級電流穩定性：技術核心與應用價值

在微觀表征領域，電子顯微鏡（簡稱電鏡）憑借納米乃至原子級分辨率，成為材料科學、生命科學、半導體工業等領域的核心工具。電鏡性能不僅依

蝕刻設備高壓電源動態功率調節技術應用

精確控制能量輸出，實現微觀世界的雕刻藝術。在半導體制造和精密加工領域，蝕刻工藝是決定器件性能與良率的關鍵環節。而高壓電源作為蝕刻設

曝光機高壓電源低功耗方案探索

在半導體制造、印刷電路板（PCB）及平板顯示等行業中，曝光機是關鍵設備，其核心光源——如超高壓汞燈——需要穩定可靠的高壓電源進行驅動

電子束高壓電源溫度自適應控制技術研究

電子束技術在現代工業與科研中具有重要作用，其性能穩定性很大程度上依賴于高壓電源的輸出質量。高壓電源的溫度穩定性直接決定了電子束的品

曝光機高壓電源啟動保護策略

曝光機作為精密制造的核心設備，其高壓電源的穩定性直接決定成像質量與設備壽命。高壓電源在啟動瞬間承受巨大應力，有效的保護策略不僅是安

電子束高壓電源冗余架構設計

在高能物理研究、工業焊接、精密加工及醫療設備等高端領域，電子束高壓電源的穩定性與可靠性直接決定了整個系統的性能與安全。由于這些應用

曝光機高壓電源高頻化技術研究

高壓電源作為曝光機的核心部件，其性能直接決定了曝光精度、能效和系統穩定性。傳統工頻高壓電源存在體積大、響應慢、控制精度低等問題，難

離子注入高壓電源智能梯度升壓技術：精密制造的新引擎

離子注入技術是半導體制造的核心工藝之一，通過高能離子束對材料表面進行精確摻雜，可調控材料的電學特性（如導電性、抗輻射性）。該工藝的