技術資源

離子注入高壓電源的數字孿生監測技術：突破精度與可靠性的新范式

在半導體制造、核工業及材料表面改性等領域，離子注入技術是實現材料性能精準調控的核心工藝。高壓電源作為離子注入設備的心臟，其輸出穩定

靜電卡盤高壓電源瞬態過沖抑制技術研究

在半導體制造、精密儀器加工等領域，靜電卡盤（ESC）通過高壓靜電吸附實現晶圓或工件的無機械接觸固定，其核心驅動元件——高壓電源的穩定

電鏡高壓電源超低漂移設計的關鍵技術與應用

在電子顯微鏡（電鏡）系統中，高壓電源的穩定性直接決定了成像質量。高壓電源的微小漂移（如電壓波動、紋波或溫度漂移）會導致電子束能量偏

高壓電源阻抗匹配優化在蝕刻設備中的關鍵技術與應用

在半導體制造領域，蝕刻設備的高壓電源性能直接決定了工藝精度與設備穩定性。高壓電源的輸出阻抗與等離子體腔室負載阻抗的匹配程度，是影響

離子注入高壓電源智能均流控制的技術突破與應用

摘要離子注入是半導體制造中的核心工藝，其精度直接決定器件的電學特性與可靠性。高壓電源作為離子注入系統的動力心臟，其輸出穩定性對雜質

靜電卡盤高壓電源諧振抑制技術：原理與創新方案

在半導體制造工藝中，靜電卡盤（Electrostatic Chuck, ESC）是晶圓蝕刻、沉積等關鍵工序的核心夾具，其穩定性直接決定工藝精度。高壓電源

離子注入高壓電源的輕載高效模式：技術突破與應用價值

在半導體制造、新材料改性等領域，離子注入工藝常面臨輕載工況（如局部摻雜、微區修整或科研級小劑量注入），傳統高壓電源在此類場景下存在

靜電卡盤高壓電源絕緣老化監測：技術要點與應用價值

在半導體制造、電子顯微鏡等精密設備中，靜電卡盤（ESC）通過高壓電源產生的靜電場吸附工件，其絕緣性能的穩定性直接決定工藝精度與設備安

電鏡高壓電源的快速關斷保護技術：精密設備的“安全閘門”

在電子顯微鏡（電鏡）等高端科研設備中，高壓電源的穩定性直接決定了成像質量與設備壽命。然而，電鏡工作時常因真空腔體內的雜質或微放電現